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聚光科技成立半导体事业部,以精密检测支撑中国“芯”

2026年09月03日 13:57:14 人气: 1637 来源: 聚光科技
  近日,聚光科技正式成立半导体事业部。
 
  这不是一次简单的组织调整,而是公司在半导体检测领域历经多年技术沉淀、产品迭代与客户验证后作出的重要战略部署。
 
  聚光科技将以独立事业部建制,统筹研发、产品、应用、市场与服务资源,全面聚焦半导体行业真实需求,加快构建覆盖材料质量、制程环境与厂务安全的多场景检测与监测解决方案。
 
  以严苛验证 锻造可靠能力
 
  半导体客户对国产仪器的信任,不是靠参数表赢得的,而是在真实样品、严苛标准与长期运行中一步一步建立起来的。
 
  晶圆制造使用的高纯湿化学品,所有杂质元素均处于超痕量ppt级别的范畴。目标信号极其微弱,化学品基体复杂多变,空气、试剂、容器和管路带来的细微污染,都可能影响检测结果。
 
  真正的难点,不是偶尔测出一个低浓度数据,而是在复杂基体、多批次样品和长期运行中,持续保持低本底、准确性与稳定性。
 
  近期,聚光科技旗下谱育科技EXPEC 7350S系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS/MS),在国内某头部芯片制造企业,历经多轮的深度技术磋商、数据比对方式升级。
 
  本次验收涉及制程中多达20余种高纯湿化学品的杂质检测,全面覆盖高纯酸、碱、有机等典型化学品。其中,硫酸等高黏度、高基体样品,对进样系统、背景控制、抗干扰能力和长期稳定性提出了更高要求。
 
  经过持续的方法开发、样品测试和多轮平行比对,核心痕量元素比对测试通过客户验证,关键指标达到要求,测试结果与客户现有进口品牌参考设备保持良好一致性。
 
  检验的不只是一台仪器,更是应用方法、现场工程与技术服务能力。
 
  构建“三位一体”业务布局
 
  严苛验证的背后,是聚光科技及旗下谱育科技在高端质谱、气体监测、在线分析与自动化等领域的长期积累。
 
  目前,公司已经形成以痕量元素污染检测、洁净室气态分子污染物(AMC)监测和厂务特气安全侦测为核心的“三位一体”业务布局:
 
  聚光科技半导体“三位一体”业务布局
 
  在材料端,ICP-MS/MS已用于硅片、碳化硅衬底及高纯试剂质量监控;
 
  在制程环境端,微污染气体监测系统已进入国内晶圆厂,持续监测酸性、碱性及VOCs等气态分子污染物;
 
  在厂务端,半导体气体探测器已应用于12英寸集成电路制造基地,为电子特气泄漏侦测提供技术支撑。
 
  三类检测与监测能力已进入半导体实际应用场景
 
  聚光科技的差异化,不是简单叠加三类产品,而是以同一专业化体系覆盖实验室超痕量分析、洁净室连续在线监测和厂务特气安全侦测,贯通材料质量、制程环境与安全运行等关键场景。
 
  以专业化组织 服务产业需求
 
  成立半导体事业部,不是聚光科技进入半导体行业的起点,而是多年积累之后的一次战略进阶。
 
  事业部将建立面向半导体客户的统一接口与协同机制,推动研发、产品、应用、市场和服务围绕客户需求高效协同,让真实制造需求更快进入研发体系,让技术成果更快转化为应用方案。
 
  从单点产品走向多场景解决方案,从设备交付延伸至持续应用支持,聚光科技将加快技术攻关、方法开发和客户验证,完善全生命周期服务体系,推动更多国产高端检测与监测仪器进入半导体制造现场。
 
  从长期积累到组织跃升,从严苛验证到持续应用,聚光科技正以更聚焦的投入、更完整的能力和更快速的响应,全面发力半导体检测国产化。
 
  同“芯”聚力,向光而行。
 
  聚光科技将以精密检测支撑精密制造,与中国半导体产业共同成长。
 
  原标题:聚光科技成立半导体事业部,以精密检测支撑中国“芯”
 
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关键词: 半导体,仪器仪表
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